氦質譜檢漏儀用(yòng)氦氣作示漏氣體，以氣體分(fēn)析儀檢測氦氣而進行檢漏的(de)質譜儀。是一種應用(yòng)于國内外的(de)真空容器檢漏先進技術。與一般的(de)檢漏技術相比，氦質譜檢漏技術快(kuài)速、準确、靈敏度高(gāo)及無損傷性等優點。氦質譜檢漏

儀的(de)示蹤氣體也(yě)可(kě)以是其他(tā)元素。但通(tōng)常選用(yòng)氦氣，因爲氦氣具有以下(xià)特性：

1、氦氣在空氣中的(de)含量極少，隻占約二十萬分(fēn)之一，易于發現；

2、氦分(fēn)子小、質量輕、易擴散、比其它氣體易穿越漏孔；

3、氦離子荷質比小，易于進行質譜分(fēn)析；

4、氦氣是無毒、無味，對(duì)大(dà)氣無污染。

5、氦氣是惰性氣體，化(huà)學性質穩定，不會腐蝕和(hé)損傷設備；

6、氦氣無毒，不凝結，極難容于水(shuǐ)。

正因爲氦氣具有以上特性，所以氦氣檢漏應用(yòng)已從科研院所到工業企業乃至到個(gè)體企業，可(kě)以說應用(yòng)領域極其寬廣